工艺流程：入料-风切-显影2-风刀切水-纯水喷淋-风刀切水-IR固膜-风冷-检查-水帘密封-风切-蚀刻1--蚀刻2-风刀切水-喷淋-风刀切水-检查-喷淋脱膜-浸入式超声波脱膜-刷洗脱膜-风刀切水-纯水刷洗+喷淋-风刀切水总体规格：外围尺寸（长×宽×高）：28960×2500×1630mm输送速度：0.4-3米/分钟输送面高度：900mm输送支间距：60或80mm自来水量要求：60升/分钟输送方式：单轨道输送方式，轨道宽358mm输送结构：不锈钢支PP输送轮及挡边轮备注：所有冲洗压力及流量数据均在1KG/平方厘米的水压下测试，设置低液位自动停机保护功能，以避免液泵因空载而受损，所有药液喷洗室上盖均装有揭盖停机功能，以保护操作者，每喷洗组均有独立球阀及压力表分别调节上/下喷淋之压力及流量。