据佛山市政府网消息，国内化合物半导体设备厂商蓝河科技的MOCVD设备已经完成工艺落地，顺利适配6英寸氧化镓外延产线，设备已于2026年初开启批量交付，补齐国内第四代半导体氧化镓量产装备的短板。
公开资料显示，蓝河科技总部坐落于浙江绍兴，也是国内唯一能够覆盖全材料体系MOCVD外延设备的厂商，设备产品线覆盖第二代砷化铟、砷化镓，第三代氮化镓、碳化硅以及氧化镓、氮化铝等第四代半导体材料，同时布局二维薄膜材料生长装备平台。在第四代氧化镓赛道当中，企业攻坚适配6英寸晶圆规格的外延生长工艺，MOCVD设备顺利通过产线验证之后实现批量出货。
7月22日，蓝河科技正式签约佛山南海桂城，投入2亿元打造MOCVD装备华南总部基地，后续会在华南基地研发、生产适配氧化镓、砷化镓光伏电池的新一代外延设备。
就在签约前夕，企业刚完成数亿元B6轮融资，资金用于氧化镓MOCVD工艺迭代、设备良率优化、客户产线验证以及产能扩充，投资方包含中网投、泰达科创、长江创新等产业资本。
MOCVD属于氧化镓功率器件制造最核心的外延工艺设备，薄膜生长品质直接决定高压氧化镓功率器件的耐压、损耗、稳定性指标。现阶段国内氧化镓产业处在产业化爬坡阶段，高压开关、紫外探测、车载功率器件等下游需求逐步释放，国产化设备落地能够压低上游产线的建厂成本。
截至目前，蓝河科技累计获得300余台MOCVD及CVD系列装备订单，已交付设备150余台，客户涵盖科研院所及产业企业。公司已布局绍兴总部基地、上海研发基地、长兴量产基地及徐州特色基地，总生产经营面积约1.7万平方米。
值得注意的是，蓝河科技创始人、董事长张伟曾任职于德国爱思强（AIXTRON）和德国商先创（centrotherm），2011年联合创办中晟光电，2020年创办蓝河科技。
（集邦化合物半导体整理）
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