氮化镓嵌单晶金刚石散热技术取得突破

作者 | 发布日期 2026 年 06 月 10 日 15:00 | 分类 氮化镓GaN

2026年6月8日,美国麻省理工学院(MIT)官方发布消息,该校研究团队成功将氮化镓(GaN)晶体管嵌入超薄单晶金刚石层,攻克高功率无线芯片散热瓶颈,研制出性能创纪录的无线功率放大器。相关研究成果已于2026年IEEE国际微波研讨会(IMS)上正式发布,为6G通信、卫星互联网等高功率电子设备提供全新芯片级热管理方案。

当前硅基芯片功率承载能力存在天然局限,难以满足未来高速无线通信对性能与能效的需求。氮化镓作为宽禁带半导体,具备高功率密度与高工作频率优势,是6G通信、高功率雷达及卫星通信的核心候选材料。但氮化镓器件运行时易产生局部热点,严重影响器件可靠性并制约性能释放,传统表面生长金刚石层的方案还存在难以规模化、寄生电容高等问题。

此次MIT团队创新采用异构集成工艺,将微米级氮化镓晶体管(dielet)嵌入单晶金刚石超薄中介层。金刚石凭借已知材料中最高的导热率,可快速扩散热量,使氮化镓与硅基电路温度趋于一致,显著提升三维芯片系统可靠性。该技术彻底摒弃传统表面覆盖方案,有效消除寄生电容,保障器件高频运行速度。

经测试,基于该技术制备的无线功率放大器,性能超越现有文献报道的所有同类器件,创下新的性能纪录。论文第一作者、MIT电气工程与计算机科学系研究生Pradyot Yadav表示,无线设备无法靠单一材料实现全能性能,三维异构集成是必然趋势,而散热与可靠性是规模化落地的核心瓶颈,此次突破有望打通高功率电子设备大规模应用的关键环节。

据介绍,该制造工艺精度要求极高,涉及多材料系统集成,但可满足商业化应用的规模化生产需求。技术可直接适配6G通信FR3频段、卫星互联网设备、高功率雷达及数据中心等场景,同时为下一代高功率射频器件提供可复用的热管理架构。

(集邦化合物半导体整理)

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