摘 要:本文介绍了激光在碳化硅(SiC)半导体晶圆制程中的应用,概括讲述了激光与碳化硅相互作用的机理,并重点对碳化硅晶圆激光标记、背金激光表切去除、晶粒隐切分片的应用进行了介绍。
碳化硅是一种性能优异的第三代半导体材料,具有光学性能良好、化学惰性大、物理特性优良的特点,包括带隙宽...  [详内文]
激光在碳化硅半导体晶圆制程中的应用 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 04 月 19 日 9:30 | 分类 碳化硅SiC |