日前,华矽盖泽半导体科技(上海)有限公司(以下简称:盖泽半导体)宣布,其自主研发生产的SiC外延膜厚测量设备GS-M06Y已正式交付客户。
GS-M06Y将应用于半导体前道量测,主要针对硅外延/碳化硅外延层厚度进行测量。GS-M06Y设备采用了盖泽半导体自主研发的高精算法、Loa...  [详内文]
盖泽半导体SiC外延膜厚测量设备顺利交付 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 02 月 22 日 8:57 | 分类 碳化硅SiC |