近日,合肥高新区出台《合肥高新区化合物半导体产业发展实施方案》。
主要目标是围绕碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)、磷化铟(lnP)及氧化镓(Ga203)、金刚石等材料,到2027年,合肥高新区形成以衬底和外延材料、器件、模块为核心的全产业链条,建成较大规模特色工艺生产线,培育化合物半导体领域龙头企业5家,上市公司2家,全产业链产值突破100亿元协同上下游产业及终端产业产值超1000亿元,成为全国重要的化合物半导体产业基地。
方案重点工作包括:
围绕基础科学研究及产业化能力提升,加快碳化硅、氮化镓等关键技术攻关,给予最高6000万元研发支持。
加强化合物半导体产业链龙头企业招引,对获批的优质化合物半导体衬底、外延及芯片生产线项目给予最高1亿元政策支持。
支持创新平台或检验检测企业为化合物半导体企业提供晶圆功能性、可靠性、兼容性测试(含中测成测)、失效分析、车规认证等业务,按照实际服务费用,给予最高100万元支持。
围绕新能源汽车、光伏逆变、通信基础设施等领域,征集一批化合物半导体应用创新技术和解决方案,每年安排不少于3000万元资金,支持示范效应显著的标杆场景。支持产业链上下游合作,给予最高200万元支持。
围绕化合物半导体产业发展要素保障,完善专业人才团队招引机制,对优秀创业团队,给予从人才招引到生产办公用房等最高1亿元的创业支持。
合肥高新区打造化合物半导体产业集群
合肥高新区已集聚一批化合物半导体方面代表企业,涵盖碳化硅、氮化镓、砷化镓等材料领域以及主要的应用方向。
包括以阳光电源、晶澳等为代表的光伏和电源领域,以长安汽车为代表的新能源汽车领域,以中电科16所、中电科38所及中电科43所等为代表的射频领域,以格力、美的、惠而浦等为代表的家电紫外LED杀菌领域,以东超科技、全色光显为代表的新型显示领域等。
此外,还包括了如阿基米德半导体(合肥)有限公司、合肥芯谷微电子股份有限公司、合肥安德科铭半导体科技有限公司、合肥邦诺科技有限公司、合肥世纪金芯半导体有限公司等化合物半导体领域企业。
其中,阿基米德半导体(合肥)有限公司致力于打造新能源时代的世界一流功率半导体厂商。公司主要产品为应用于新能源汽车及光伏储能充电领域的SiC/IGBT 模块及分立器件等。公司核心技术团队由中国科学院院士领衔,成员来自英飞凌、安森美等国内外大厂。2025年8月,阿基米德电子科技有限公司入选安徽省科技厅公示省级企业研发中心认定名单。
合肥芯谷微电子股份有限公司成立于2014年,是一家微波射频芯片设计公司,提供基于GaAs材料的微波、射频集成电路芯片,包括功率放大器、低噪声放大器、微波开关等。2025年5月19日,合肥芯谷微电子砷化镓晶圆制造线项目迎来重要节点——首台核心设备高温离子注入机顺利move in。据悉,该产线于2023年启动建设,规划为6英寸砷化镓晶圆制造线。
此外,在8月,另一家位于合肥高新区的第三代半导体企业——美镓传感,发布了全球首款氮化镓可编程线性霍尔芯片MS-PLH-B3。该芯片采用第三代半导体氮化镓(GaN)技术,具备耐高温、高精度特性,可在-40°C至125°C全温区稳定工作,相较传统方案,在工业制造等场景中的可靠性显著提升。美镓传感致力于第三代半导体材料及智能感知技术的创新研发,其自主研发的高性能氮化镓传感芯片已广泛应用于电力电网、新能源等领域。
(集邦化合物半导体 金水整理)
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