昂坤视觉近期推出了针对MicroLED外延检测高端设备E3200micro，该设备在昂坤视觉上一代两款蓝绿光和红光外延片检测设备的基础上，检测光学系统重新做了设计和提升，在一台设备上集成了表面缺陷和红，蓝和绿光外延片的荧光缺陷检测。表面颗粒的最小精度达到了60nm，荧光缺陷像素分辨率0.5um。
昂坤视觉Mciro LED的检测设备E3200micro
E3200micro明场采用微分干涉DIC检测系统，可以对外延片表面的晶格缺陷形貌成像检测和AI分类；暗场采用激光散射，颗粒检测精度最低可以达到60nm。
E3200micro针对不同颜色发光的外延片，配备了相应的激发激光和适配的收集系统，可以对GaAs外延红光， GaN 外延绿光和GaN外延蓝光进行荧光缺陷检测，并且缺陷和表面缺陷进行融合和AI分类。
（全彩相机，Red GaAs PL Map）
（全彩相机，Green GaN PL Map）
（全彩相机，Blue GaN PL Map）
该设备为Micro LED全彩显示提供了从外延生长到芯片制程的一体化质量监控方案，为Micro LED外延片在AR/VR、透明显示及车载HUD等新兴场景的规模化落地提供核心技术支撑。设备推出后，已经有多家客户送样测试，并获得多台订单和发货。
【附：Eagle 系列设备介绍】
E1000：专注于 InP、GaAs、LT、LN、玻璃等晶圆的缺陷检测。针对这类晶圆的典型特征，采用明暗场光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，可快速精准识别并分类 Pit（凹坑）、Bump（凸点）、Particle（颗粒）、Scratch（划痕）等常见缺陷。
E3200：适用于 GaN 衬底及蓝宝石（Sapphire）、硅（Si）、碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等各类衬底的 GaN 外延缺陷检测。依托多通道光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，为晶圆质量控制与工艺优化提供有力支持。
E3500：专为 SiC 衬底片与外延片缺陷检测打造。针对 SiC 缺陷类型多样的特点，融合多通道光学检测系统与缺陷自动检测分类算法，可快速精准识别并分类微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等常见缺陷，助力 SiC 产品质量把控与生产工艺升级。
【关于昂坤视觉】
昂坤视觉于 2017 年在北京创立，下设南昌、杭州两家全资半导体设备子公司。公司专注化合物半导体、光电及集成电路前端制造领域，致力于提供光学测量与检测设备及解决方案，秉持打造国际水准晶圆检测设备的愿景，持续深耕技术研发。
凭借多年自主创新与技术积累，昂坤视觉已具备光学系统设计、成像技术、机器视觉及学习算法的核心研发能力，拥有多项自主研发的领先技术。公司先后荣获国家高新技术企业、国家级专精特新 重点“小巨人” 企业、北京市企业技术中心等资质认证，并通过 ISO9001 质量管理体系认证，是一家集研发、生产、销售、服务于一体的高科技企业，为半导体产业发展持续贡献力量。（来源：昂坤视觉）
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