近日，沈阳经开区落地两条半导体高端零部件产线。辽宁汉京半导体产业基地宣布，国内首条“半导体碳化硅零部件生产线”和国内首条“10nm级极高纯石英生产线”已在沈阳经济技术开发区正式投产。
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其中，备受关注的“半导体碳化硅零部件生产线”是辽宁汉京历时三年自主研发的成果。该产线成功突破了大尺寸碳化硅构件高温烧结、精密加工以及表面纯化处理等一系列核心工艺难题。它具备年产5万件高纯碳化硅零部件的能力，产品将直接配套国内的碳化硅晶圆厂、衬底厂和外延厂，有效打破了相关产品长期依赖进口的局面。
市场对这条新产线的反应较为热烈，汉京半导体方面透露，刚投产即获得了国内头部企业的批量订单，“明年订单已经全排满了！”预计到2026年，仅碳化硅零部件产线的销售额就有望突破10亿元。
同步投产的“10nm级极高纯石英生产线”则瞄准了集成电路制造中对材料纯度的严苛要求。该产线采用了自主创新的“等离子体提纯+高温氯化”技术路线，能够将石英砂中的金属杂质含量降至10ppb以下，达到了国际领先水平。
这一纯度标准足以满足7nm甚至以下先进制程对石英材料的需求，例如半导体级石英管和石英舟等。这条产线的投产，有效解决了国内先进半导体制造材料长期依赖进口的难题，为国内晶圆厂的供应链安全提供了有力保障。
汉京半导体产业基地位于沈阳经济技术开发区，项目总投资约10亿元，占地近9.5万平方米，是汉京半导体在沈阳建设的核心产业基地。依托企业在碳化硅陶瓷精密加工和高纯度石英成型等方面的技术积累，该工厂达产后将使汉京里达工厂设计产能超过12亿元。
沈阳经开区相关负责人表示，地方政府将以汉京项目为龙头，积极打造“第三代半导体零部件+材料”的特色产业集群。未来三年内，经开区计划引进超过20家上下游配套企业，最终形成百亿级的产业规模，全力助力沈阳打造成为具有重要影响力的“北方半导体之都”。
公开资料显示，汉京半导体成立于2022年6月，是国内碳化硅耗材生产商、国内石英制品产业的头部供应商，主要产品包含石英管、石英舟、石英环、碳化硅陶瓷舟、碳化硅陶瓷管、碳化硅陶瓷保温筒等。
2025年8月13日，正帆科技正式与汉京半导体5名股东签署《股份转让协议》，以11.21亿元现金收购其62.23%股权，汉京半导体由此成为正帆科技控股子公司。最新消息显示，2025年9月工商变更已完成，正帆科技正式成为汉京半导体的大股东。
正帆科技成立于2009年，主营业务聚焦于为泛半导体、生物制药、光纤通信等高科技产业提供工艺介质供应系统、高纯特种气体及洁净室配套服务，形成 “设备+材料+服务” 三位一体的综合解决方案。
（集邦化合物半导体 竹子 整理）
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