6月8日，杭州富加镓业科技有限公司披露，公司自研VB法（坩埚下降法）氧化镓晶体生长装备已完成客户现场验收并正式交付。该设备在首次炉次试生产中，成功生长出完整氧化镓单晶，设备运行指标及工艺效果符合客户使用标准。
图片来源：富加镓业
据公开技术进展资料，富加镓业自2023年启动VB法氧化镓单晶生长技术研发工作，持续推进大尺寸氧化镓单晶制备技术迭代。2025年9月，公司实现6英寸VB法氧化镓单晶制备突破；2025年12月、2026年3月先后完成8英寸、12英寸VB法氧化镓单晶生长，持续刷新全球氧化镓单晶尺寸制备纪录。
除VB法长晶装备外，富加镓业同时布局EFG法（导模法）晶体生长装备研发，推出具备自动化长晶功能的专用设备，可适配2至8英寸氧化镓晶体生长需求。截至目前，公司在氧化镓晶体装备领域拥有多项专利储备，含国内及国际授权专利，可对外提供成套设备及配套工艺解决方案。
公开信息显示，富加镓业成立于2019年底，主营氧化镓单晶衬底、外延片及配套长晶装备研发生产，是国内较早布局氧化镓产业化的企业。公司已搭建完整产品体系，可提供2至8英寸氧化镓单晶衬底、2至6英寸氧化镓外延片，并支持相关产品参数定制，具备“装备-衬底-外延”一体化供应能力。
产能与标准建设方面，公司已建成国内万片级氧化镓衬底量产产线，同时牵头起草国内氧化镓领域首个国家标准，承担多项国家及省部级相关科研项目。
本次VB法长晶装备顺利验收交付，标志着富加镓业自研氧化镓生长装备完成商业化落地验证，实现技术研发与市场应用的衔接。后续公司将持续推进装备迭代与材料工艺优化，深化产学研及产业链合作，推动氧化镓技术在功率器件、微波射频、光电探测等领域的产业化应用落地。
（集邦化合物半导体整理）
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