9月10日,半导体硅晶圆厂环球晶董事长徐秋兰宣布,环球晶已开发出12吋方形碳化硅晶圆。

图片来源:环球晶
徐秀兰表示,在过去60年来,半导体硅晶圆都是呈现圆形,后续制造也都是以圆形硅晶圆为基础来考量。因此若改采用方形片,不只需要制程能力,还需要设备能力,因为并没有现成设备可用,相关周边也要跟着变化,否则以晶圆盒来说,方形晶圆会比盒子还大,「连盒子都没得装」。或是如硅晶圆不透光,碳化硅晶圆却透光,因此量测方面的问题也要处理。
另外,徐秀兰提到,目前市场上8吋碳化硅晶圆是以雷射切割,但12吋碳化硅晶圆切割方式仍待开发。相较于其他做碳化硅的业者,没有12吋晶圆的经验,环球晶已拥有12吋晶圆的很多经验,只是过去是生产硅产品,而不是碳化硅,如今该公司已经开发出不用雷射的12吋碳化硅晶圆切割方法。
环球晶前身是中美硅晶制品股份有限公司,2011年,中美硅晶将三大事业体(太阳能、半导体、蓝宝石)独立分割,环球晶圆股份有限公司成立。
环球晶的产品光谱横跨3至12吋,包括抛光片、退火片、SOI芯片、FZ芯片等,可应用于医疗器材、风力发电、高速铁路、车用电子、航天设备等多个领域。此外,公司还积极布局碳化硅晶圆领域,其位于美国德州谢尔曼市的12英寸SiC晶圆厂已实现量产。据悉,该工厂产品缺陷密度降至0.15/cm²,吸引了英飞凌、安森美等车用芯片大厂签订五年长约。
8月,环球晶(GlobalWafers)宣布已于6月从美国《芯片法案》获得略超2亿美元(约合人民币14.4亿元)的资金,约为其去年获得的拨款总额的一半。
稍早一点的5月份,环球晶宣布其位于美国德州谢尔曼市的12英寸晶圆新厂正式启用,目前新厂设备进驻率已达30%-40%,并开始小规模生产。据公开资料介绍,该工厂GWA采用一贯制程的生产模式,实现了 “一条龙生产”。
此外,该园区总占地142英亩,可容纳多达六期的扩建。在工厂启用的同时,环球晶宣布计划在现有35亿美元投资的基础上,追加 40亿美元用于该工厂第三、四期扩建工程,完成二阶段建设后,厂区尚具备空间可进行第五、第六期扩建。
(集邦化合物半导体整理)
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