日本晶圆设备制造商DISCO于2023年12月推出新型碳化硅(SiC)切割设备DDS2020,支持切割8英寸SiC材料,可将SiC晶圆的切割速度提高10倍,首批产品已交付客户。
source:DISCO
据介绍,SiC材质偏硬加工难度较大,DDS2020晶圆切割设备采用了新的断...  [详内文]
日本DISCO推出新型SiC切割设备,速度提高10倍 |
作者 chen, zac|发布日期 2024 年 01 月 12 日 17:06 | 分类 企业 |