今日,科友半导体宣布其6/8英寸碳化硅规模化生产取得了重大技术突破。
公司自主研发出两种不同加热方式的PVT法晶体生长炉,完成了国产自主1至4代感应炉和1至3代电阻炉的研发,形成大尺寸低成本碳化硅产业化制备系列技术。
实现了6英寸碳化硅单晶衬底的规模生产和批量供货,8英寸碳化硅单...  [详内文]
科友6/8英寸SiC规模化生产再进一步 |
| 作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 05 月 12 日 17:50 | 分类 碳化硅SiC |
