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1个月3次,Axcelis SiC设备再次出货

作者 |发布日期 2024 年 04 月 18 日 17:58 | 分类 企业
4月17日,半导体离子注入厂商Axcelis宣布向全球领先的碳化硅(SiC)功率器件芯片制造商交付多批Purion Power系统离子注入器系统。这些设备包括Purion H200 SiC大电流、Purion XE SiC高能和Purion M SiC中电流注入机,且均在第一季度...  [详内文]