“晶驰机电”官微消息，近日，晶驰机电全新研发的6-12寸兼容的全自动腐蚀炉成功走向海外市场，获得国际客户的高度认可。该设备专为碳化硅（SiC）晶片腐蚀工艺设计，集自动化、高效率、高安全性于一体，标志着晶驰机电在半导体装备领域迈出国际化关键一步。
图片来源：晶驰机电
该设备支持6寸、8寸、12寸晶片，适应多样化生产需求；采用双工位设计，可提升生产效率，实现连续作业；搭载全封闭+强排风系统，有效隔绝腐蚀性碱蒸汽，保障人员安全；设备全流程自动化，涵盖腐蚀、清洗、烘干全工序，极大减少人工干预；最后，设备还具备产业化适配优势，高效稳定，适用于规模化量产场景。
晶驰机电表示，此次出口不仅是单一订单的达成，更是晶驰机电国际化战略的重要里程碑。未来，公司将持续深化SiC工艺设备的技术积累与创新；积极拓展海外市场，构建全球服务体系；围绕客户需求，开发更智能、更高效的半导体装备。
资料显示，晶驰机电专注于碳化硅、金刚石、氮化铝等半导体材料装备研发、生产与销售，致力于为第三、四代半导体衬底材料及科研领域提供专业设备与技术支持，通过持续创新推动国内先进材料制造水平的提升，助力实现关键设备的进口替代。产品包括碳化硅长晶炉、碳化硅外延炉、腐蚀炉、热压炉、金刚石长晶炉等第三、四代半导体装备设备。
（集邦化合物半导体整理）
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