近日，西昌生态环境局发布了关于科芯半导体装备制造产业园（一期）项目的环评审批公示。随着环评审批的通过，科芯半导体装备制造产业园（一期）项目有望加速推进。
图片来源：西昌生态环境局审批公示截图
据悉，#科芯半导体 装备制造产业园（一期）项目由科芯半导体科技（凉山州）有限公司建设，项目性质为新建，选址于西昌钒钛产业园区JJ-B-06-07号地块东北侧用地，总投资高达210000万元。
项目规划建筑面积约2万平方米，旨在打造碳化硅半导体配套设备器件及零部件产品的生产基地，预计年产碳化硅半导体配套设备器件500台（套）、碳化硅零部件产品5万件。
消息显示，项目将建设两类生产线。其一为碳化硅半导体零部件产品产线，涵盖刻蚀环、静电吸盘、AR镜片基材三种产品，采用物理气相沉积工艺完成核心零部件产品沉积工序，而中段工序如切磨抛、退火等则通过外协完成。其二为碳化硅半导体配套设备器件产线，企业将自主完成产品的各部分设计、软件系统开发以及原辅材料的准备和检查，其他设备器件的组装、测试等环节同样采用外协。
科芯半导体科技（凉山州）有限公司于2024年10月14日成立，注册资本5000万人民币。公司位于四川省凉山彝族自治州，主要从事计算机、通信和其他电子设备制造业。其经营范围广泛，包括技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，以及电子专用材料制造、电子专用设备制造、半导体器件专用设备制造、光伏设备及元器件制造等。
（集邦化合物半导体整理）
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