近期，中国电科第四十八研究所（以下简称“48所”）与国内某头部企业签订超亿元MOCVD设备订单，并与国内头部砷化镓电池企业签订大规模MOCVD供货战略合作协议。
据悉，48所自研的MOCVD设备是一款专用于III-V族化合物半导体材料外延生长的关键装备，该设备以砷/磷材料体系为核心，可高效制备砷化镓、磷化铟等材料。
同时，该设备适用于光电激光器、射频器件、空间太阳电池等领域，为5G通信、人工智能和自动驾驶等新兴技术提供了核心材料制备平台。设备集成了在线监测、全自动传输等先进技术，在材料均匀性、界面陡峭度和掺杂精度等关键指标上均达到行业领先水平。
资料显示，48所是国内化合物半导体外延装备领域的领军企业之一，已成功推出SiC外延炉、MBE设备及MOCVD等系列化设备。此次MOCVD设备的最新突破，将进一步拓宽48所在半导体领域的业务范畴，更好助力国家半导体装备产业集聚区的建设。
（集邦化合物半导体整理）
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