近日,晶盛机电在碳化硅(SiC)核心装备领域取得重大突破,12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付全球头部SiC外延晶片生产商#瀚天天成。
新设备采用独创“垂直分流进气”结构,可在同一平台兼容8/12英寸工艺,实现晶圆表面温度≤±0.5℃的高精度闭环控制、工艺气体多区独立控制、全...  [详内文]
晶盛机电12英寸单片式碳化硅外延生长设备顺利交付 |
| 作者 KikiWang|发布日期 2025 年 12 月 26 日 16:38 | 分类 碳化硅SiC |
