近期,北京华林嘉业科技有限公司(CGB)宣布成功向国内领先的第三代半导体企业交付了自主研发的湿法清洗设备集群。该设备将用于碳化硅外延及器件产线,助力其提升晶圆制造良率与产能效率。
CGB公司介绍,交付设备构成完整的清洗链条:从光刻环节的显影/去胶(半自动显影机、无机去胶清洗机),...  [详内文]
助力第三代半导体客户量产突破,CGB碳化硅专用清洗设备交付 |
作者 KikiWang|发布日期 2025 年 07 月 11 日 14:32 | 分类 企业 , 碳化硅SiC |