据佛山市政府网消息,国内化合物半导体设备厂商蓝河科技的MOCVD设备已经完成工艺落地,顺利适配6英寸氧化镓外延产线,设备已于2026年初开启批量交付,补齐国内第四代半导体氧化镓量产装备的短板。
公开资料显示,蓝河科技总部坐落于浙江绍兴,也是国内唯一能够覆盖全材料体系MOCVD外延...  [详内文]
蓝河科技MOCVD设备落地氧化镓外延产线 |
| 作者 KikiWang|发布日期 2026 年 08 月 05 日 14:29 | 分类 企业 , 氧化镓 |
