近日,碳化硅设备领域动态频频,山西中电科率先完成第二代立式碳化硅涂层装备迭代,装炉量猛涨七成、节拍压缩三分之一;同一时段,捷佳伟创宣布其半导体清洗与碳化硅高温热处理设备双双在客户端落地。
1、山西中电科第二代立式碳化硅涂层装备工艺迭代升级
近日,电科装备山西中电科公司自主研发的第...  [详内文]
两家碳化硅设备厂商披露最新进展! |
| 作者 KikiWang|发布日期 2025 年 12 月 10 日 15:16 | 分类 企业 , 碳化硅SiC |
