昨日,晶盛机电表示已于近日成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备。
图片来源:晶盛机电
8英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面积更大,未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。为未来碳化硅材料大规模应用提供低成本的先决条件。
晶盛机电称,8英寸...  [详内文]
国产8英寸SiC设备获重大突破 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 06 月 28 日 17:11 | 分类 碳化硅SiC |