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国产8英寸SiC设备获重大突破

作者 |发布日期 2023 年 06 月 28 日 17:11 | 分类 碳化硅SiC
昨日,晶盛机电表示已于近日成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备。 图片来源:晶盛机电 8英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面积更大,未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。为未来碳化硅材料大规模应用提供低成本的先决条件。 晶盛机电称,8英寸...  [详内文]