近日，西湖仪器（杭州）技术有限公司宣布（以下简称“西湖仪器”），其产品演示中心已建成并投入试运行。
图片来源：西湖仪器
该中心是一个集8英寸碳化硅激光剥离自动化生产线与大尺寸碳化硅衬底加工验证于一体的综合平台，具备前沿技术与产品的验证能力，是推动激光剥离技术从“工艺可行”迈向“量产好用”的关键载体。这种“量产演示”与“前沿验证”相结合的布局，使该中心能够为客户提供从工艺导入到量产决策的全方位支持。
作为产品演示中心的核心，8英寸碳化硅激光剥离自动化生产线实现了从“从锭到片”的全流程自动化、无人化操作，是满足当前市场主流需求、实现降本增效的产业化利器。该验证线年产超过20,000片8英寸衬底，模块化设计支持产能灵活调配，能够为客户提供多层次全方位的验证数据。
大尺寸碳化硅激光剥离工艺验证线，主要服务于12英寸碳化硅衬底的新技术工艺和产品验证，具备年产超过10,000片12英寸衬底的处理能力，同时满足各类非标大尺寸籽晶加工需求。其核心任务是攻克大尺寸工艺难题、开展技术前瞻性研发，为下一代大尺寸衬底加工提供技术储备与解决方案。
（集邦化合物半导体整理）
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