随着碳化硅（SiC）产业蓬勃发展，相关设备厂商获得了更多出货机会，近日，又有两家SiC相关设备厂商成功完成了批量出货。
广州粤升液相法SiC单晶炉批量出货
11月13日，广州粤升半导体设备有限公司（以下简称广州粤升）多台SiC设备产品批量出货。据悉，其出货产品-液相法SiC单晶炉，是SiC产业链中的关键环节，可为客户提供高质量、低成本的SiC衬底新方案。
资料显示，广州粤升成立于2021年9月，专注于SiC外延设备、SiC晶体生长设备的研发和生产，助力客户生产高质量的SiC外延片和晶片。
成立两年以来，广州粤升产品研发进展较快。2022年6月，广州粤升与广州海创产业技术研究院合作，成立SiC外延设备研发中心；11月，首台SiC外延设备研发成功；2023年2月，广州粤升开始液相法SiC单晶设备的研发；9月，该公司SiC外延设备产品装车交付；11月，液相法SiC单晶设备批量交付。
值得一提的是，广州粤升自主研发的4/6英寸SiC外延设备，生长的4/6英寸SiC外延片质量均达到国际先进水平，满足MOSFET和SBD器件的制备要求，在一定程度上加速了SiC外延设备国产化进程。
图片来源：拍信网正版图库
优睿谱晶圆电阻率测量设备发货两家客户
近日，优睿谱半导体设备（无锡）有限公司（以下简称优睿谱）宣布推出晶圆电阻率量测设备SICV200，目前已经同时发货两家客户。
据介绍，SICV200是一款用于测量硅片电阻率、SiC或其它半导体材料掺杂浓度的半导体量测设备，可支持对包括12英寸在内的各种不同尺寸晶圆，进行多频率下CV特性分析。机台配置上，SICV200具有各种尺寸的半自动方案以及符合SEMI标准的全自动方案，可直接对接客户工厂MES系统，实现自动化生产。
资料显示，优睿谱成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。
今年7月，优睿谱SiC自动光学位错微管检测设备SICD系列交付客户，可用于SiC衬底的位错及微管缺陷检测。据介绍，较国内同类功能的设备，SICD设备在检测速度上提升了数倍。
此外，优睿谱FTIR设备Eos200Lite可用于SiC外延片外延层厚度及均匀性测量，目前已获得多家头部SiC基外延厂订单。未来，优睿谱有望加快出货速度。（集邦化合物半导体Zac整理）
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