生产率增长100%!Riber外延设备获美系客户认证

作者 | 发布日期 2023 年 12 月 20 日 17:52 | 分类 企业

昨日(12/19),美国分子束外延 (Molecular Beam Epitaxy,MBE)设备供应商Riber宣布,MBE 8000平台已获得美国外延生产商的最终认证通过。

图片来源:Riber

据介绍,MBE 8000可批量生长8片6英寸外延或4片8英寸外延,相比市面上现有的外延设备,MBE 8000设备性能突出,生产效率翻倍,产能可提升50%。另值得关注的是,由于元件设计、系统几何、过程控制等相同,MBE 8000操作简易,且能够确保在最短的时间内实现工艺转移。

此外,在VCSEL型结构及0.8-8μm大小的颗粒上经过30次以上的测量,MBE 8000的缺陷密度均小于50个颗粒/㎡。而本次获得外延生厂商的最终认证,也证明了这款设备在工艺、耐用性、稳定性、人类工程学及控制等方面皆有不错的表现。

因其技术的灵活性,MBE 8000设备可匹配VCSEL、晶体管、感测器等对均匀性、再现性及稳定性要求严苛的化合物半导体应用场景的需求。

另外,Riber日前还表示,其亚洲工业应用客户订购了两台MBE 6000s多片机。这款设备将主要用于生产移动通讯用的HEMT外延片,射频及光通讯设备用的锑基光电器件等。(集邦化合物半导体Jenny编译)

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