昨日（12/19）,美国分子束外延 (Molecular Beam Epitaxy，MBE）设备供应商Riber宣布，MBE 8000平台已获得美国外延生产商的最终认证通过。
图片来源：Riber
据介绍，MBE 8000可批量生长8片6英寸外延或4片8英寸外延，相比市面上现有的外延设备，MBE 8000设备性能突出，生产效率翻倍，产能可提升50%。另值得关注的是，由于元件设计、系统几何、过程控制等相同，MBE 8000操作简易，且能够确保在最短的时间内实现工艺转移。
此外，在VCSEL型结构及0.8-8μm大小的颗粒上经过30次以上的测量，MBE 8000的缺陷密度均小于50个颗粒/㎡。而本次获得外延生厂商的最终认证，也证明了这款设备在工艺、耐用性、稳定性、人类工程学及控制等方面皆有不错的表现。
因其技术的灵活性，MBE 8000设备可匹配VCSEL、晶体管、感测器等对均匀性、再现性及稳定性要求严苛的化合物半导体应用场景的需求。
另外，Riber日前还表示，其亚洲工业应用客户订购了两台MBE 6000s多片机。这款设备将主要用于生产移动通讯用的HEMT外延片，射频及光通讯设备用的锑基光电器件等。（集邦化合物半导体Jenny编译）
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