近日，拓荆科技、中科飞测、盛美上海、微导纳米4家半导体设备厂商联合成立合资公司——广州中科共芯半导体技术合伙企业（有限合伙）（以下简称中科共芯）。
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天眼查资料显示，中科共芯于2023年12月12日成立，注册资本1.8亿元，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业，经营范围包括：半导体分立器件制造、销售；电子元器件制造、批发、零售；电力电子元器件制造、销售等。
股权结构显示，拓荆科技、中科飞测全资子公司、微导纳米均持股27.7624%，盛美上海持股比例为16.6574%，中科共芯的执行事务合伙人为广州中科齐芯半导体科技有限责任公司，持股0.0555%。
其中，拓荆科技成立于2010年4月，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务，公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备、原子层沉积（ALD）设备和次常压化学气相沉积（SACVD）设备三个产品系列，已广泛应用于集成电路晶圆制造领域。
中科飞测作为国内高端半导体检测和量测设备龙头，自2014年成立以来一直专注于半导体检测和量测设备领域，目前已成功推出了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备等产品，可被广泛应用于28nm及以上制程集成电路制造和先进封装环节。
盛美上海先后开发了前道半导体工艺设备，包括清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影Track设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD设备、无应力抛光设备；后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。
2023年3月，盛美上海首次获得碳化硅（SiC）衬底清洗设备订单，国内SiC衬底制造龙头厂商由此成为盛美上海的客户。
微导纳米成立于2015年12月，是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，主要产品为应用于光伏电池、硅基微显示、逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体和3D封装等半导体及泛半导体的专用设备和成套技术。
2023年11月，微导纳米在参加投资机构调研时表示，第三代半导体是公司半导体领域内的主要布局方向之一，公司相关产品已取得了多家知名客户的订单，可应用于第三代化合物半导体功率器件领域，市场前景广阔。（集邦化合物半导体Zac整理）
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