近日,中电科风华信息装备股份有限公司推出首款具备完全自主知识产权的第三代半导体晶圆缺陷检测设备—Mars 4410。目前,该设备已陆续发往国内多家客户进行使用。
Source:中电科风华
半导体制造工艺十分复杂,稍有差错都可能影响芯片功效。半导体检测贯穿半导体设计、晶圆制造、封...  [详内文]
中电科风华国产第三代半导体缺陷检测设备出货 |
作者 huang, Mia | 发布日期: 2023 年 01 月 12 日 17:26 | | 分类: 碳化硅SiC |