近期,上海芯上微装科技股份有限公司(以下简称“芯上微装”)自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200 )正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,将为国产化合物半导体制造提供强有力的核心装备支撑。
图片来源:芯上微装
AST6200光刻机是芯上微装基于多年光学系统设计、...  [详内文]
芯上微装首台350nm步进光刻机发运,助力国产化合物半导体 |
| 作者 KikiWang|发布日期 2025 年 12 月 02 日 18:33 | 分类 化合物半导体 |
