8月5日,晶升股份官微宣布成功开发出新一代SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延炉。
图片来源:晶升股份
据了解,晶升股份SCML320A碳化硅外延炉生长速率≥60μm/h,膜厚均匀性<1%,掺杂均匀性<2%,指标达到国际先进水平。此外,还支持N/P两种掺杂类型,可以满足不...  [详内文]
晶升股份推出SCML320A碳化硅外延炉 |
作者 KikiWang|发布日期 2025 年 08 月 06 日 14:05 | 分类 企业 , 碳化硅SiC |