目前,PVT生长工艺是国内厂商生长SiC晶体的主流方法,液相法生长技术则处于研究和开发阶段。
关于液相法SiC晶体生长设备,晶升股份提前开展了相关布局并已经在2023年提供样机给多家客户,随后晶升股份协同客户不断进行优化和改进,进一步提升晶体的品质与良率。
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晶升股份研发出液相法碳化硅晶体生长设备 |
作者 chen, zac|发布日期 2024 年 05 月 14 日 18:00 | 分类 企业 |