近期,江苏超芯星半导体有限公司(以下简称超芯星)正式在全球同步发布High Purity P-type SiC(高纯度P型碳化硅)衬底。

图片来源:超芯星
资料显示,P型碳化硅衬底是制备超高压IGBT的核心基础材料。长期以来,全球P型碳化硅衬底行业始终被一个致命痛点困扰——Fe、Ni、Cr、V等金属杂质难以根除。这些杂质会在晶体中形成深能级复合中心,直接导致IGBT器件导通损耗升高、开关特性劣化,更严重影响器件长期可靠性,成为制约超高压IGBT向更高功率、更高效率、更长寿命升级的核心瓶颈。
超芯星此次发布的High Purity P-type SiC衬底,将Fe、Ni、Cr、V等金属杂质含量降低三个数量级,从源头上解决了杂质污染难题。这一突破不仅保障了衬底的高纯度与高可靠性,更与IGBT器件核心结构完美适配——碳化硅IGBT的核心结构是P型衬底+N型外延层的纵向PN结,其导通与关断依赖P型衬底向N型外延层注入空穴。若采用N型衬底制备IGBT,需额外制备厚P型埋层,不仅增加工艺复杂度,还会引入注入损伤、杂质分布不均等问题,影响器件可靠性。而超芯星高纯度P型衬底可直接作为IGBT的P型集电区,无需额外工艺步骤,大幅提升器件良率与稳定性。
相较于传统P型衬底杂质含量高、成本高、交期长等弊端,超芯星产品以“超低金属杂质+器件结构适配+高一致性+规模化产能”四大核心优势,彻底解决了碳化硅IGBT“有设计无优质材料”的产业痛点,推动器件厂商加速从硅基IGBT向碳化硅IGBT转型,降低单位芯片成本,激活超高压功率器件商业化进程。
具体到场景中,在智能电网与特高压输电领域,基于该衬底的IGBT可实现阻断电压提升,器件体积缩小,大幅提升电网输电效率,并降低变电站建设成本;在新能源与工业控制领域,可减少冷却系统投入,实现电力系统轻量化、高效化;在高端电力电子模块领域,可与N型衬底MOSFET形成互补,覆盖低压到特高压全电压等级,满足新能源汽车、储能电站的集成化需求。
(集邦化合物半导体整理)
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