3月12日,中微公司宣布其等离子体刻蚀设备反应总台数全球累计出货超过5000台,涉及CCP高能等离子体刻蚀机和ICP低能等离子体刻蚀机、单反应台反应器和双反应台反应器共四种构型的设备。
中微公司介绍,等离子体刻蚀机,是光刻机之外,最关键的、也是市场最大的微观加工设备。由于微观器件...  [详内文]
中微公司:刻蚀设备反应台全球出货超5000台 |
作者 florafeng|发布日期 2025 年 03 月 13 日 17:12 | 分类 企业 |