5月18日，河北晶驰机电 有限公司（以下简称“晶驰机电”）举行了河北省首台（套）12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉交付仪式。
source：正定发布
据悉，晶驰机电此次交付的12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉采用了电阻式物理气相传输（PVT）方法，通过创新的结构和热场设计，结合先进的过程控制理论和自动化控制方法，实现了均匀的径向温度和宽范围精准可调的轴向温度梯度。这种设计使得设备能够精准控制长晶过程中的工艺参数，并实现高度智能化运行。消息显示，该设备能够无缝“一键切换”生产8英寸和12英寸的碳化硅单晶，大大提高了设备的灵活性和生产效率。
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与传统6英寸和8英寸的衬底相比，12英寸碳化硅衬底材料显著扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积。在同等生产条件下，这不仅提高了芯片产量，还显著降低了单位芯片制造成本。此外，通过该设备生长出来的晶锭形态完美，表面微凸度精准控制在2.4毫米以内。设备的炉间工艺稳定，操作方法简单，可实现快速投产，整个工艺流程全部自动化控制，适合产业化应用。
官方资料显示，晶驰机电成立于2021年7月，总部与研发中心位于杭州市浙江大学杭州国际科创中心。公司专注于第三代和第四代半导体材料装备的研发、生产、销售和应用推广。2024年年末，晶驰机电在河北石家庄建成了一个半导体材料研发生产项目，并于11月初投产。该项目总投资2亿元，占地约50.26亩，总建筑面积约20000平方米，分两期建设，一期建设计划时间为2025年—2026年。该项目以金刚石设备与碳化硅外延设备为产品核心，致力于推动我国半导体材料装备的自主创新发展。
12寸电阻法高纯碳化硅晶体生长炉的成功交付，不仅为晶驰机电在半导体材料装备制造领域树立了新的里程碑，也为我国半导体产业的自主可控发展提供了有力支持。未来，晶驰机电将继续深化产学研合作，强化自主创新能力，不断优化产品性能，提高技术成果转化效率。同时，公司还将进一步扩大生产规模，以满足全球市场对高性能碳化硅材料的需求。
source：晶驰机电
值得注意的是，早在今年3月，晶驰机电就成功完成了12英寸多晶生长验证，实现了同一炉台8英寸和12英寸碳化硅单晶的稳定量产，标志着国产设备在大尺寸碳化硅衬底技术攻坚中取得了新的突破。今年1月，晶驰机电开发的8英寸碳化硅电阻式长晶炉通过客户验证，并正式开启了小批量交付。此外，其自主研发的“全自动碳化硅腐蚀清洗设备”也成功交付海外客户。
除了河北晶驰机电有限公司外，还有多家企业在12英寸碳化硅设备领域取得了显著进展并实现交付或即将交付。
近日，山东力冠微电子装备已攻克12英寸PVT电阻加热长晶炉的研发难关，并于近期完成首批两台设备的交付，计划在2025年实现12英寸设备的批量供货。此外，大族半导体在8/12英寸SiC衬底激光剥离技术上实现了三大新突破，推动大尺寸碳化硅衬底加工迈向“低成本、高良率”时代。江苏天晶智能也于4月8日正式发布了12英寸碳化硅超硬材料超高速多线切割机。
这些企业的突破进一步推动了我国在第三代半导体材料装备制造领域的自主创新能力。
（集邦化合物半导体 竹子 整理）
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