碳化硅的研发突破是AR眼镜发展的关键支撑。近期,连科半导体在12吋碳化硅晶锭取得重要成果,同时,西湖大学与慕德微纳共同宣布其碳化硅衍射光波导领域有新突破。
01、连科半导体成功生长出高品质12吋(304mm)碳化硅晶锭
近日,连科半导体在官微宣布,采用中宜创芯提供的7N高纯碳化硅粉体,依托完全自主研发的12吋碳化硅长晶炉及其热场,成功生长出高品质12吋(304mm)碳化硅晶锭。

图片来源:连城数控
公开资料显示,连科半导体成立于2023年,是连城数控的控股子公司,在半导体晶体生长设备领域有较强的研发实力。中宜创芯则是中国平煤神马集团控股子公司,其在碳化硅粉体纯度提升方面取得了显著成果。不久前,中宜创芯将碳化硅粉体纯度提升至8N8(99.999998%),相当于1吨材料中杂质不超过0.2克。
12吋(304mm)碳化硅晶锭是第三代半导体材料的重要成果。一方面,12吋SiC能显著提升器件单位面积的产出效率,降低芯片制造的成本,另一方面,12吋对设备热场均匀性、长晶稳定性、缺陷控制精度的要求更是呈现指数级提升。
在应用场景方面,12吋碳化硅晶锭制成的高纯半绝缘衬底,凭借其光学性能优势,可以成为下一代“AR+AI”智能眼镜的核心材料。此外,在新能源汽车、光伏储能、5G通信等领域的应用也具有重要意义。
正如连科半导体总经理胡动力博士表示:按照预测,12吋衬底片成本大致为10000元,能切出10-11副眼镜,对应单副眼镜碳化硅衬底成本大概1000元左右,大大降低AR眼镜成本及售价,并加速在消费市场的渗透。
02、西湖大学+慕德微纳:超薄碳化硅衍射光波导新突破
12吋碳化硅晶锭有望解决了AR眼镜的 “材料供应与成本难题”,那么碳化硅衍射光波导的突破则直击AR眼镜的 “佩戴体验与显示效果痛点”。
近日,据西湖大学工学院SOE官微宣布,西湖大学联合慕德微纳(杭州)科技有限公司发布了一种颠覆性的解决方案,采用碳化硅(SiC)材料成功研发出超轻、超薄的衍射光波导,相关研究成果已发布在《eLight》期刊上。

图片来源:《eLight》期刊截图
据了解,该方案首次实现了单层碳化硅衍射光波导的设计、量产级制造与封装,为基于SiC的AR技术路线奠定了开创性基础。并且该技术与大规模量产的超薄菲涅尔处方镜片兼容,为近视用户提供了“一站式”的轻便AR视觉解决方案。
研究团队总结道,该研究展示了一个基于碳化硅(SiC)波导的全新AR显示平台,它同时解决了轻薄化、全彩无彩虹伪影显示和规模化量产三大核心难题。团队通过创新的材料应用、光学设计和制造工艺,打造出一款重量仅3.795克、厚度0.75毫米、光效高达1238.10nit/lm的AR衍射光波导,并集成了超薄视力矫正功能。
值得关注的是,据慕德微纳测算,未来碳化硅光波导的成本将低至650元左右。目前,该技术方案已供应给多家业内头部企业。
03、碳化硅 x AR眼镜:加速消费级普及
碳化硅技术的突破是AR眼镜的前提条件之一,碳化硅的材料特性能欧满足AR眼镜在轻薄化、显示效果、性能稳定性等多方面的需求。
一方面,碳化硅具有较高的硬度和强度,这使得它在保持良好性能的同时,可以被加工成更薄的镜片。西湖大学与慕德微纳研发的碳化硅AR镜片,单片重量仅2.7克,厚度仅0.55毫米,相比传统AR镜片大大减轻了重量和厚度,提升了佩戴的舒适性。
另一方面,碳化硅具有高导热性,AR眼镜中的投影光机和传感、计算单元等会产生热量。通过碳化硅的导热特性,可以改善AR眼镜的散热问题,从而增强使用稳定性。
再一方面,碳化硅的折射率远高于传统玻璃等光学材料,可以实现大视场角的全彩成像,也可以消除光学伪影,从而带来沉浸的现实效果。
此外,随着12吋碳化硅衬底材料的大规模应用,生产成本也或降低,有利于AR眼镜的规模化普及。
(集邦化合物半导体 金水 整理)
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