近期,晟光硅研成功应用水导激光加工技术,对12英寸超大尺寸碳化硅晶锭实现了高质量、高效率的精密加工,具备应对超厚材料能力强、加工质量卓越、适用于大尺寸工件、环保与高效等特点,未来有望提升衬底制备能力、降低综合成本,为我国第三代半导体产业的自主可控与高质量发展注入强劲动能。
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这家公司水导激光技术成功实现12英寸碳化硅晶锭一次性高效精密加工 |
| 作者 KikiWang|发布日期 2025 年 12 月 29 日 15:53 | 分类 碳化硅SiC |
