Arche开启韩国首个碳化硅外延片量产

作者 | 发布日期 2023 年 02 月 02 日 10:26 | 分类 碳化硅SiC

据报道,SiC材料公司Arche在韩国京畿道公司总部举行开幕式活动,宣布SiC外延片正式量产。目前,Arche正准备生产电动汽车用650V、1200V SiC材料,目标是开发出3000V、6000V以及可用于航空航天、国防领域的12000V SiC材料。

资料显示,Arche成立于2014年,专注于研发生产SiC材料,供应半导体设备厂商。据悉,Arche采用爱思强(Aixtron SE)生产的G4 MOCVD蒸镀设备,还引进了其新的G5蒸镀设备,预计3月份完成建设。在完成对相关设备的爬坡及良率稳定工作后,预计从今年第四季度开始正式量产相关产品。

众所周知,SiC设备、衬底及外延材料是SiC产业链前端非常关键、且技术门槛较高的环节,目前仍有许多技术难题需要攻克,是各国第三代半导体产业重点攻关的方向。

本次Arche成功量产SiC外延片,意味着韩国第三代半导体产业的发展又向前迈出了一步。此外,在SiC关键设备领域,韩国去年也取得了重要进展:韩国ESTech成功实现SiC晶锭生长设备的国产化。

图片来源:拍信网正版图库

在GaN领域,韩国企业也在不断发力GaN功率半导体市场,着眼于8英寸GaN衬底、外延、器件等更高端的领域,旨在抢占GaN在电动汽车等高功率应用市场的商机。例如,东部高科去年计划在硅基GaN上生产8英寸半导体元件;IVWorks去年收购了法国Saint-Gobain的GaN晶圆业务,计划在高功率应用领域供应GaN-on-GaN外延片,对打SiC材料,抢攻电动汽车市场。

企业之外,韩国政府也持续加大对第三代半导体领域的投资,近年来推出了不少利好政策,支持韩国第三代半导体产业的发展壮大。

去年,为应对SiC、GaN、GaO等迅速增长的全球功率半导体市场,韩国推出了由其国内半导体企业、大学、研究所等组成的“新一代晶体工程部”,目标是开发以SiC为基础的国产功率半导体生态系统,还将培育与SiC半导体相关的材料、零部件和设备企业的发展,成立SiC产业联盟。

据悉,韩国SiC产业联盟包括LX Semiconductor、SK siltron、Hana Materials、STI等30家功率半导体企业。其中,LX Semiconductor负责开发SiC半导体,SK siltron公司负责开发SiC衬底,Hana Materials和STI将共同开发SiC半导体零件和设备技术。光云大学、嘉泉大学和韩国国民大学则支援SiC半导体研究开发基础设施,由国家纳米材料研究所和韩国陶瓷工程技术研究所支援技术。

韩国政府壮大第三代半导体产业的决心由此可见一斑,从企业的进展来看,韩国也逐渐在第三代半导体核心环节取得突破,逐步缩短与欧美日等国家的距离。接下来,各国之间在第三代半导体领域的角逐也将日趋激烈,全球市场格局未来或将生变。(文:集邦化合物半导体 Jenny整理)

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