近期我国多家企业在碳化硅设备领域取得了显著进展,推动了我国在第三代半导体材料装备制造方面的自主创新能力。
其中,晶驰机电成功开发出电阻法12英寸碳化硅晶体生长设备,实现了同一炉台8英寸和12英寸碳化硅单晶的稳定量产;山西天成的12英寸碳化硅长晶炉也已进入炉体组装和工艺调试阶段,计...  [详内文]
12英寸碳化硅设备,三家企业实现突破! |
作者 KikiWang|发布日期 2025 年 04 月 14 日 13:41 | 分类 企业 , 碳化硅SiC |