6月27日,晶盛机电宣布,已成功研发出8英寸碳化硅外延设备。
据晶盛机电介绍,目前,在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上,已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内。
Part 1 碳化硅厂商下一个“黄金赛道”
近年来,在新能...  [详内文]
化合物半导体下一场黄金赛道鸣枪,国内8英寸碳化硅研发再突破 |
作者 huang, Mia|发布日期 2023 年 06 月 29 日 17:09 | 分类 碳化硅SiC |