近日,山东力冠于正式发布其12英寸PVT电阻设备及8英寸多坩埚设备,为8-12英寸SiC晶圆的规模化、稳定化、低成本制备树立了新的行业标杆。
山东力冠发布的12英寸PVT电阻设备及8英寸多坩埚设备,是碳化硅晶圆制备的核心工艺设备,可以决定了碳化硅晶锭的生长效率、质量和成本,与碳化...  [详内文]
国产碳化硅设备新突破,山东力冠发布大尺寸PVT设备 |
| 作者 KikiWang|发布日期 2025 年 07 月 30 日 14:23 | 分类 企业 , 碳化硅SiC |
